비교할 수 없는 반도체 프로세스 유체 난방

전반적인 설명

PFA 직선 난방기는 염화수소 (HF), 칼륨 하이드록산 (KOH) 및 PFA와 호환되는 다른 화학 물질을 위해 설계되었습니다.

이 PFA 난방기는 높은 순수성 물질을 극도로 작동시키는 동시에 성능과 신뢰성을 극대화합니다.

우리는 또다시 고순수 액체의 가열을 새로운 수준의 성능과 신뢰성으로 끌어올렸습니다.

우리는 다시 한번 고순도 액체의 가열을 새로운 수준의 성능과 신뢰성으로 끌어 올렸습니다.가혹 한 환경 에서 고 순수성 물질 을 사용 하여 액체를 난방 하는 것 은 경험 으로만 얻을 수 있는 특별 한 기술 과 지식 을 요구 한다40년 넘게 우리 엔지니어들은 고열된 쿼츠 욕조를 정제하고 개선해왔고 반도체 및 관련 산업의 중요한 요구를 이해하고 있습니다.그 지식의 합은 PFA 인라인 히터에 통합되어, 하지만 설치와 유지보수도 단순화합니다. 우리의 오랜 ISO 9001 등록을 통해 예로,제조 프로세스 제어에 대한 우리의 헌신은 고객이 일정 수준 높은 품질의 제품을 적시에 받는 것을 보장합니다.우리는 거의 모든 응용 프로그램에 쉽게 통합 할 수 있도록 표준 및 사용자 정의 모델의 광범위한 범위를 제공합니다.

• 무거운 가이즈 전형 인코넬 요소는 붕괴하지 않고 높은 스트레스 조건에 견딜 수 있습니다
• 전력 변조기는 난방 원자 온도를 모니터링 하 고 하우징 내부에서 열 축적 방지
• 밀폐 된 가구 내부 구성 요소를 공격하는 화학 물질을 방지하고 2차 격리 기능을 제공합니다.
• 내부 누출 감지 스트립 (외부 모니터 필요) 화학 누출의 조기 검출을 제공합니다
• 화학적 공격을 방지하기 위해 테플론 선로로 보호된 모든 배선
• 간접 난방 설계, 잠수 난방 요소가 없습니다.
• N2 또는 가스 정비가 필요하지 않습니다.

특징

• 오 링 밀폐가 없습니다.
• 모든 습한 표면은 고 순수 PFA입니다
• 이중 격리용 PTFE 가구
• 성능에 대한 최대 와트 밀도
• 가벼운 구조
• 독특한 디자인으로 인해 작은 발자국
• 유지보수 필요 없음
• PFA 유체 경로, 광범위한 화학 호환성
• 높은 온도 200°C 이상

 

사양

히터	PFA 직렬 화학 난방기
와타지	1.5-12kW
공정 화학	희석된 염화수산 (DHF) 수소화수산 (BHF) 펌퍼화된 산화물 에치 (BOE), 알칼리 화학물질 (TMAH, KOH, NAOH), 플루오린 용매 염화수소, 글리콜, 그리고 훨씬 더 많은 것들이 있습니다.
최대 작동 온도	180°C (컨설트 공장) 더 높은 온도에서)
최대 압력	180°C에서 40psi
전압	200~400VAC, 단단계 또는 3단계 모델에 따라

 

 

산업

 

• 반도체 제조
• 태양전지 제조
• 플래트 패널 디스플레이, LED & 전자
• 화학 제조
• 산업 제조업

신청서

소금화
애노딩은 금속 표면을 산화질소층으로 변환하는 전기 화학적 과정이다. 주로 알루미늄이 애노딩에 사용되지만 티타늄과 마그네슘과 같은 다른 비철금속은또한 소금화 될 수 있습니다.금속 부분은 안오드처럼 연결되고 산성 전해질 목욕탕에 잠겨, 전기 전류가 부각되어 산화질 층이 조각에서 자란다.그 결과 표면 완공은 부식 저항성 및 내구성과 같은 기능적 특성을 제공합니다., 뿐만 아니라 장식적 특성을 제공합니다. 과잉 난방은 아름답고 정밀한 마무리 제공합니다. 과잉 전원 공급은 높은 전류, 높은 정확도를 제공합니다.그리고 높은 에너지 효율을 현대 안오디제이션 공정의 요구 사항을 충족시키기 위해.

 

용품소금화
MOTS SINGLE ¥ Bottom, DERATED [단독의 모트] 저축, 낮은 와트 밀도, L 모양, 바닥, 금속 측면 침수 히터. 단일 또는 세 단계. 세 단계. 500-6000 와트, 120-480 볼트. .	MOTS TRIPLE L 모양 L형, 바닥에 있는 금속, 측면 난방 위에 3단계, 단일 또는 3단계, 3000~36,000와트, 200~600볼트	6HS 시리즈 튜블러 옆면, 6개 원소, 3단계 파이프 히터 6000~21000와트, 208~600볼트
MOTS TRIPLE 깊은 탱크 깊은 탱크, 측면 히터 위에 금속. 세 단계. 300 ° F (149 ° C) 까지 가열. 단일 또는 세 단계. 18000-54000 와트, 208-600 볼트.	MOTS TRIPLE 깊은 탱크 깊은 탱크, 측면 히터 위에 금속. 세 단계. 300 ° F (149 ° C) 까지 가열. 단일 또는 세 단계. 18000-54000 와트, 208-600 볼트.	G (그리드) 시리즈 코일 더 큰 탱크에 효율적인 수평, 수직 및 L 모양의 몰입 코일. 강철, 316 스테인레스 스틸 및 티타늄으로 제공됩니다.
9HX 시리즈 낮은 와트 밀도, 9 원소 플루오로 폴리머 (PTFE) 304 스테인리스 원소 대부분의 용액에 관성. 세 단계. 3000-18000 와트, 208-600 볼트.	6HX 시리즈 낮은 와트 밀도, 6 요소 플루오로 폴리머 (PTFE) 에 304 스테인리스 요소가 대부분 용액에 무활성. 3 단계. 2000-12000 와트, 208-600 볼트.	3HXOL 시리즈 낮은 와트 밀도, 3 요소, 바닥 난방. 플루오로 폴리머 (PTFE) 304 스테인리스 요소는 대부분의 솔루션에 무활성. 3000-18000 와트, 208-480 볼트.
HXF 시리즈 저와트 밀도, 나선형 난방기. 플루오로 폴리머 (PTFE) 304 스테인리스 요소는 대부분의 용액에 무활성. 500-6000 와트, 120-600 볼트.	HX 시리즈 낮은 와트 밀도, 나선형. 플루오로 폴리머 (PTFE) 304 스테인리스 요소는 대부분의 용액에 무활성. 단일 단계. 500-9000 와트, 120-600 볼트.	3HX 시리즈 낮은 와트 밀도, 3 요소 가열기. 플루오로 폴리머 (PTFE) 304 스테인리스 원소 수면 대부분의 용액에 관성. 세 단계. 1000-6000 와트, 120-600 볼트.